参考材料

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REF-Al2O3-2Side		背面未经处理的氧化铝，用于双界面基准。
REF-Al-3mmSubstrate		基底 - 高反射率铝基准
REF-BK7		1½" x 1½" BK7 反射基准。
REF-Fused Silica-2Side		背面未经处理的石英，用于双界面基准。
REF-Si-2		2" 单晶硅晶圆
REF-Si-4		4" 单晶硅晶圆
REF-Si-6		6" 单晶硅晶圆
REF-Si-8		8" 单晶硅晶圆
BG-Microscope		显微镜系统内取背景反射的小型抗反光镜
BG-Stage		平台系统内获取背景反射的抗反光镜