轮廓仪与光谱反射仪的比较

轮廓仪 是用容易理解的机械技术测量薄膜 厚度。 它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。 轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜，包括不透明的厚金属膜。 更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。

然而轮廓仪也有不足之处。 首先，样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度， 而小坎通常无法很标准(见图)。 这样，标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。

与此相比， 光谱反射仪使用非接触技术，不需要任何样本准备就可以测量厚度。 只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和折射率。 光谱反射仪还可以测量多层薄膜。

轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表于下。 如需更多光谱反射仪信息请点击这里。