测量范围
材料: 至少部分透明的薄膜, 加上所有的半导体 (透明或不透明)。 薄膜在外观上至少要有某种程度的光泽。
厚度范围: 测量从 1nm 到 13mm 的厚度。 测量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。
| 単位 |
厚度范围 |
| 最低 |
最高 |
| Å |
10 |
10^8 |
| nm |
1 |
10^7 |
| kÅ |
0.01 |
10^5 |
| µm |
0.001 |
10000 |
| µm-in |
0.04 |
40^4 |
| mils |
0.00004 |
400 |
| mm |
10^-6 |
10 |
| g/cm^2 |
10^-7 |
1 |
能够测量厚度高于10nm的薄膜折射率 (这也取决于材料本身)
可测量的层数: 通常能够测量薄膜堆内的三层独立薄膜。 在某些情况下,能够测量到十几层。
基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多数金属) 上的话,一般不能测量薄膜的折射率。 此外,粗糙基板还将最低的可测量薄膜厚度限制为大约 50nm。
所需的信息: 必须了解样品中所有薄膜的顺序、名称和标称厚度,不管它们是否有待于测量。
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