F60-c

生产环境的全自动晶圆盒式测绘系统

Filmetrics F60-c 系列不仅能像F50那样测绘薄膜厚度和折射率，还加上了一系列生产环境需要的功能。包括凹槽自动检测，自动基准确定，带安全锁定的全封闭测量平台，预装软件的工业计算机，以及机械手晶圆传输。

不同的F60-c仪器主要由不同的厚度和波长范围来区分。较短波长 （如 F60-c-UV) 测量较薄的薄膜。而较长的波长，则测量较厚，较粗糙，和不透明的薄膜。