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厚度标准

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TS-SiO2-6-Multi 多厚度硅基上的二氧化硅标准: 125埃米,250埃米,500埃米,1000埃米,5000埃米,和 10000埃米 (+/-10%误差),6英寸晶圆。
 
TS-Custom-NIST 在客户提供的样品上定制可追溯的 NIST 厚度校准。 点击这里索取可追溯的 NIST 标准说明。
 
TS-Focus-Si02-4-10000 Si02-on-Si 厚度标准,外加调焦区和单晶硅基准,厚度大约 10000A,4" 晶圆。
 
TS-Focus-Si02-4-3100 Si02-on-Si 厚度标准,外加调焦区和单晶硅基准,厚度大约 3100A,4" 晶圆。
 
TS-Hardcoat 丙烯酸塑料硬涂层厚度标准,厚度大约 4um,直径 2"。
 
TS-Hardcoat-Trans 背面透明的硬涂层,可用于透射测量。
 
TS-Hardcoat-NIST 可追溯的 NIST 硬涂层厚度标准 。
 
TS-Parylene-3um 丙烯酸塑料上的聚对二甲苯厚度标准,厚度大约 3um ,直径2"。
 
TS-Parylene-8um 硅基上的聚对二甲苯厚度标准,厚度大约 8um,23mm x 23mm。
 
TS-Parylene-8um-NIST 可追溯的 NIST 聚对二甲苯 8um 厚度标准。
 
TS-Si02-4-7200 硅基上的二氧化硅厚度标准,厚度大约 7200A,4" 晶圆。
 
TS-SiO2-4-7200-NIST 可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度标准。